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MEMS制程方案
作者：苏州佳圳铧电子科技有限公司
浏览：
发表时间：2017-11-15 11:15:30
MEMS制程方案
非接触撕膜机
ATRM-2300TKUV
非接触贴片机
ATM-8100TK
※晶圆区域有孔（通孔或非通孔），并在孔中嵌入胶膜。
⇒非接触传送和非接触撕膜或贴片以防止
真空吸力导致晶圆破裂
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非接触撕膜机
ATRM-2300TKUV
非接触贴片机
ATM-8100TK
※晶圆区域有孔（通孔或非通孔），并在孔中嵌入胶膜。
⇒非接触传送和非接触撕膜或贴片以防止
真空吸力导致晶圆破裂
