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功率器件制程方案(Taiko)
作者：苏州佳圳铧电子科技有限公司
浏览：
发表时间：2017-07-26 15:58:35
功率器件制程方案(Taiko)
贴膜机
-TEAM-100A⇒真空膜，防止贴附气泡
※电镀制程无气泡影响
撕膜机
-ATRM-2300TKUV
※非接触式撕膜，不会损坏晶圆背面（金属）.
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-TEAM-100A⇒真空膜，防止贴附气泡
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撕膜机
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※非接触式撕膜，不会损坏晶圆背面（金属）.
