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概述本设备可以均匀的张力将DFR和BG胶带贴附在晶圆上。 覆膜的精度在市场上处于最高水准。特点均匀的贴附压力和温度。DFR贴附滚轴可精确控制。DFR贴附张力均匀。 (可以使用无张力贴附和tenting贴附)BG胶膜贴附适用于背研工艺。环保设计(长寿命的耗材,低的胶膜消耗量)出色的可加工性。
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