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全自动真空晶圆贴膜机TEAM-100ARF
概述
本设备用于在晶圆圆周内贴附干膜，作为晶圆光阻涂布的替代。
特点
在真空室中贴附干膜，可防止气泡的产生。
区别于传统的湿法光阻剂涂布方式，干法光阻膜可大大节省光阻剂溶液。
切膜直径允许更小（小于晶圆直径），可根据晶圆有效区边界设定。
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