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概述本设备用于在晶片背研制程中将BG膜贴附在晶圆表面。特点采用加热滚轴和加热平台以贴附胶膜(选配)可根据各种胶膜的种类与特性设定最佳的贴附条件。胶膜张力控制系统,允许无张力层压。适用于8和12英寸晶圆。可兼容FOUP(选配)。
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