概述
本设备是半自动晶圆贴片机,可将晶圆和胶带安装在Dicing frame上以供切割。
真空室在贴片时不会对晶圆造成损伤。
特点
通过在真空环境中贴片,既不会产生气泡,也不会损坏晶圆。
非接触式贴附平台,仅靠接触将晶圆3mm的边缘部分。(不必依靠真空来固定晶圆。)
节省胶带消耗,可以在晶圆贴片过程中放置其他frame,有利于提升操作效率。
自动供膜,卷膜,收废膜,切膜(也适用于UV胶膜)。


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