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全自动晶圆撕膜机ATRM-4000
概述
本设备是用于自动剥离直径12英寸（300毫米）晶圆表面保护胶带的设备。
特点
可嵌入安装，通过在晶舟和作业部分之间设置分隔，将作业部设置在洁净室的外部，以减少高清洁度要求的洁净室空间。
晶圆由特殊元件稳固固定，在不给晶圆施加压力的状态下撕除保护膜。
交互式作业，易于操作。
兼容FOUP，兼容AGV / OHT通讯功能，内置UV照射单元（选配）。
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