概述
本设备是晶圆倒膜机。 操作顺序为,首先,从Frame magazine中取出已经完成晶圆贴片或芯片贴片的frame,从frame切下晶圆或芯片,然后将晶圆重新贴片至另一个frame上。
贴片完成后,将晶圆背面的Dicing tape撕下,最终,将frame存放在magazine中。
特点
本设备是多功能的一体机。可选配UV照射功能,扩膜功能,条码/Wafer ID读取功能,真空贴附功能。
可应对不同大小的Chip的倒膜。
适用于包括卷膜/预切膜的各种胶膜,及各种晶圆(TAIKO也适用)。
适用晶圆


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