Takatori 25年来一直为半导体行业提供机器,其核心应用是背面研磨之前的晶面保护胶带贴附,以及在研磨或晶圆贴片后去除胶带。在此领域, Takatori可为包括Taiko在内的最苛刻的薄晶圆应用提供解决方案。
Takatori在此领域拥有数十年的专业知识,并扩展到包括DFR,DAF和NCF在内的特殊工艺薄膜的贴附。 Takatori还可提供用于晶圆临时键合,UV解胶和金属剥离的专用设备。
全自动晶圆撕膜机ATRM-2400TKUV
概述 本设备是用于自动剥离晶圆表面保护胶带的设备。 可兼容背面TAIKO研磨的晶圆,可在不接触晶背的情况下传送和剥离膜。 使用内置的UV照射单元,一台设备即可完成从UV照射到撕除胶膜的操作。 特点 相较前代型号ATRM-2300TKUV,本设备占地面积仅为一半。 与UV机构一体化的设计。 对TAIKO晶圆,可提供背面非接触式撕膜功能。 180°撕膜机制,可有效稳定撕膜流程。
全自动晶圆撕膜机ATRM-4000
概述 本设备是用于自动剥离直径12英寸(300毫米)晶圆表面保护胶带的设备。 特点 可嵌入安装,通过在晶舟和作业部分之间设置分隔,将作业部设置在洁净室的外部,以减少高清洁度要求的洁净室空间。 晶圆由特殊元件稳固固定,在不给晶圆施加压力的状态下撕除保护膜。 交互式作业,易于操作。 兼容FOUP,兼容AGV / OHT通讯功能,内置UV照射单元(选配)。